| 型號 | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉換時間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統壓力顯示 | 制冷系統壓力采用指針式壓力表實現（高壓、低壓） 循環(huán)系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協議 | 以太網接口TCP/IP協議 | |||||
| 設備內部溫度反饋 | 設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機 | 法國泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數據導出 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、冷凍機過載保護；高壓壓力開關，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風機采用德國EBM軸流風機 | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質 | 冷軋板噴塑 （標準顏色7035） | |||||
| 溫度擴展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機冷卻機組保養(yǎng)維護須知
光刻機冷卻機組保養(yǎng)維護須知
如今光刻機冷卻機組的使用越來越廣泛，在使用過程中，如何對光刻機冷卻機組進行保養(yǎng)和維護，關系著設備的使用壽命以及是否能夠提高生產力的關鍵所在。
對于企業(yè)來說，設備保養(yǎng)負責人應該制定每月的定期檢查和保養(yǎng)計劃。其內容如下：檢查設備各個線路連接是否正常，以及電源線是否老化，檢查電源是否缺相。并且要做好檢查結果，對于有問題的應及時上報，并且計劃完善對光刻機冷卻機組線路的檢查處理工作。另外在電氣方面，還應該觀察和記錄設備運轉時的電流。
除了定期觀察和記錄運轉電流之外，還應該對系統的壓力和溫度控制進行觀察和記錄。做好數據記錄和統計工作，能夠通過數據對比有效的發(fā)現問題，從而解決問題。
另外在對光刻機冷卻機組的電氣檢查之外，還應該檢查油位，冷媒系統，循環(huán)水水質等。其中較為常見的故障往往出現在循環(huán)水的問題，當循環(huán)水的水質多時，往往會造成堵塞，此時除了要清理系統內水質雜志之外，還應該更換循環(huán)水。檢查冷媒系統時，應該著重檢測冷媒系統的量是否充足。
企業(yè)對于操作光刻機冷卻機組的人員應該進行培訓工作，應該讓員工在通讀光刻機冷卻機組說明書的前提下讓其上崗。并且在學習中，應著重對其進行光刻機冷卻機組的保養(yǎng)和維護工作的培訓和講解。
如有必要，可以向廠商申請專門的售后服務人員，來對員工進行培訓教育。做好對光刻機冷卻機組做保養(yǎng)和維護其實基本的是要培養(yǎng)員工的保養(yǎng)和維護的意識，意識有了，然后就是增加員工的執(zhí)行力。做保養(yǎng)維護工作，重要的是持之以恒，將設備的故障率降低，就等于創(chuàng)造了效益和價值。
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