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英國Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)

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公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/7/14 8:43:14
訪問次數(shù)504

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司，經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀，可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù)，研發(fā)設(shè)計(jì)組裝：紫外臭氧清洗機(jī)（UV清洗機(jī)），準(zhǔn)分子清洗機(jī)，等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備，擁有自主品牌及注冊商標(biāo)。同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠信的企業(yè)文化，為廣大中國及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。半導(dǎo)體/微納，光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有：德國ParcanNano（Nano analytik）針尖光刻機(jī)，電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī)，紫外光刻機(jī)，微納3D打印機(jī)，德國Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積，英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)，微波離子沉積機(jī)MPCVD，芬蘭Picosun原子層沉積機(jī)，電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈，美國Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管，德國Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。生命科學(xué)/生物醫(yī)療產(chǎn)品主要有：PCR儀，核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀，電子顯微鏡，紫外設(shè)備，光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀，生物芯片，試劑，實(shí)驗(yàn)耗材等。并可依據(jù)客戶需求，研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，為高等院校, 研究所，科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。

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電子顯微鏡

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

英國Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)，具有良好的穩(wěn)定性，平均正常運(yùn)行時(shí)間超過93%。

英國Nanobean NB5 電子束光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

英國Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)

具有良好的穩(wěn)定性，平均正常運(yùn)行時(shí)間超過93%

規(guī)格:

束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um區(qū)域拼接/疊加誤差: 小于25nm

自動裝載5卡盤氣鎖系統(tǒng)

NB5發(fā)展目標(biāo):

改進(jìn)設(shè)計(jì)和組件以減少日常服務(wù)需求。

實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。

提高性能

便于批量生產(chǎn)。

NB5系統(tǒng)將為進(jìn)一步發(fā)展高偏轉(zhuǎn)速度和進(jìn)一步集成電子提供平臺。

The nB4 is a generation ahead of the current competition and with its field-proven performance has gained acceptance in the market place. It has excellent stability and has demonstrated an average uptime of greater than 93%. NanoBeam now introduces the nB5 which has been developed to further reduce delivery times and service costs.

NB5 development aims:

Refine design and components to reduce routine service requirements.
Achieve a machine-fault-downtime of less than 5% annually.
Enhance performance
Facilitate volume production.
Specification:

Beam Voltage range 20kV - 100kV
Feature size on resist <8nm
Stitching/overlay error <25nm for 500um field
Automatic loading 5 chuck airlock system

The nB5 system will provide a platform for further development to high deflection speed and further integrated electronics.