Quantum軟件具有多任務(wù)和多語(yǔ)言中心,控制儀器的所有功能(包括控制多色儀和單色儀,管理獲得的 PolyscanTM (號(hào):FR 2 651 575A1)脈沖操作等),還可安裝在其他計(jì)算機(jī)上以仿真模式進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
強(qiáng)大而靈活的數(shù)據(jù)處理能力,具有 Time Plus(增加測(cè)量過(guò)程中的分析時(shí)間)、UFS模式,以增強(qiáng)聚合物的腐蝕和具有多個(gè)采集頻率的測(cè)量。實(shí)時(shí)顯示采集、快速處理選項(xiàng)(包括多重平滑)、界面自動(dòng)確定、趨勢(shì)計(jì)算和圖像導(dǎo)出、靈活生成以ascii 或 xls格式的文件 。
創(chuàng)建任務(wù)對(duì)多個(gè)原始的測(cè)試結(jié)果應(yīng)用一樣的處理方式,以覆蓋和比較多個(gè)結(jié)果。
所有原始數(shù)據(jù)允許靈活再處理,批量顯示深度剖析結(jié)果,在程序中可以使用多層樣品或塊體樣品進(jìn)行表面測(cè)量和深度剖析。
IQ
智能定量模型,包括遵循 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的濺射速率模式和用于高級(jí)材料的層模式。濃度測(cè)量(以 At%、M% 與深度、涂層重量、層厚度),2D/3D 相關(guān)坑道剖面。
Image
單色儀在掃描模式下使用時(shí)(步長(zhǎng)為每皮米),得到的結(jié)果稱(chēng)為“Image”,材料的整個(gè)發(fā)射光譜具有高光譜分辨率并且使用HDD信號(hào)不會(huì)出現(xiàn)飽和。獲取體材和厚膜(薄膜使用脈沖操作測(cè)試)的完整指紋僅需兩分鐘,通過(guò)對(duì)比“Image”和數(shù)據(jù)庫(kù)識(shí)別樣品可能存在的元素。