實驗室流化床CVD是由洛陽西格馬高溫電爐生產的實驗室硫化用立式管式爐。物料在潔凈的熱氣流(負壓)作用下懸浮形成流化狀態,其表面與熱空氣接觸,受熱均勻,達到了良好的熱交換狀態,從而有著的效率。制成的顆粒更均勻、細粉少、流動性更好。可用于小型實驗,可實現制粒包衣,燒結或反應更充分,相對于普通管式爐反應更充分,實現了一機多用的功能。
流化床立式管式爐是由支撐架、下箱體和加熱爐組成,加熱爐腔內垂直設置有爐管,爐管下端設置下密封法蘭,下密封法蘭的一側設有進氣口,另一側設置一支撐裝置,支撐裝置用于支撐下塞磚,爐管上端設置有一上密封法蘭,上密封法蘭的一側設有出氣口,另一側設置一吊塞磚裝置,吊塞磚裝置用于固定上塞磚,在上塞磚和下塞磚之間設置有一多孔板;在加熱爐下設可調節高度的支架,支架與下密封法蘭的一側連接。
反應氣體和均勻地通過反應區,固體顆粒被通入的氣體懸浮在加熱區內,爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,取出反應后的顆粒。
注意:在通入氣體懸浮起樣品顆粒時,也許會因為氣體流量過大會使顆粒穿過加熱區,所以實驗時要根據顆粒的大小尺寸來調節氣體流量等。
立式管式爐
流化床管式爐應用
1200度流化床管式爐是一款流化床立式開啟式管式爐,是針對粉末表面沉積的CVD實驗、粉末包覆等,爐管為高純石英管,爐管內部焊接有一多孔石英板(稱砂芯),石英板的孔徑為10um左右(孔徑可按照粉料實際目數選擇).粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域,進行包覆實驗。
流化床管式爐技術參數
電爐名稱 | 實驗室流化床CVD管式爐 Fluidized bed tubular furnace |
型號 | SGM FDTF1200 |
電爐結構 | 立式結構、開啟式 |
功率 | 1.5 KW |
爐管尺寸 | Dia 25(OD) X500 mm 中間區域(Dia50X150) |
外形尺寸(mm) | 800X600X1500 |
電源電壓 | 220V |
相數 | 單相 |
加熱元件 | 國產優質電阻絲 |
控制方式 | 采用宇電程序控溫儀表(標配) 1、30段程序控溫智能PID調節。 2、具有過溫保護和斷偶保護,過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有效的保護電爐)。 3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標配) 4、具有斷電保護功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能 (更換進口儀表,需要另外付費,選購) FP93控溫儀表(日本島電) 歐陸儀表 觸摸屏儀表 |
爐膛材料 | 1、真空吸濾成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 2、爐膛里電阻絲的間距和節距全部按日本的熱工技術布置、經過熱工軟件模擬溫場 |
流化床區域 | 1、反應氣體通過多孔石英板均勻地通過反應區,到達鼓肚子收口處形成回流渦流。 2、固體顆粒被通入的氣體懸浮在鼓肚子區域內 3、爐體設計為開啟式,當實驗結束后,可將爐體打開,拿出石英管,法蘭為卡套式、打開法蘭卡套取出反應后的顆粒。 進氣氣體的調節: |
爐管或多孔石英板 | 1、多孔石英板孔徑:10um 左右 2、尺寸:φ35mm x 5mm 厚 |
控制精度 | +/- 1 ℃ |
電器 | 浙江正泰 |
可控硅 | 106/16E 德國西門康 |
設計溫度 | 1200 ℃ |
額定溫度 | 1100 ℃ |
升溫速率 | ≤30 ℃/ Min (可根據要求修改) |
推薦升溫速率 | ≤15 ℃/ Min |
熱電偶型號 | K型 |
加熱段長度 | 205mm |
真空系統 | 1、單級泵 TW-1.5A 2、 雙級泵 2XZ-2 3、 VS-0.1真空系統 4、 VS高真空系統 5、 恒壓泵 6、英國PCG550(INFICON)電容真空計 1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來用:TW-1.5A單級泵即可。 2、雙級泵2XZ-2 真空泵能夠把管式爐爐管的真空度抽到10Pa左右。 3、VS-0.1真空系統能夠把管式爐爐管內的真空度抽到0.1Pa(并配帶有電阻真空計顯示)。 4、VS高真空系統(該系統是由分子和機械泵組成)能夠把管式爐爐管內的真空度抽到10-3 Pa。 5、恒壓泵(該系統可以把管內壓力控制在-100.0KPa~100.0KPa)。 6、英國(INFICON)電容真空計(測量范圍3.8x10-5 -1125 Torr、可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復性好、可選防腐類型PCG554) |
四周表面溫度 | ≤45℃ |
保修期 | 一年保修,終身技術支持 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
注意事項 | 1.爐管內氣壓不可高于0.02MPa 2.向爐管內通氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa。進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱爐管的沖擊 3.加熱過程中不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
流化床爐管為高純石英管,爐管內部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟,石英板的孔徑可單獨定制。.粉末可放在多孔石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區域,進行沉積實驗。