高低溫載物臺CHUCK

是一款溫度范圍為-65℃到200℃氣冷型高低溫卡盤系統，主要由氣冷高低溫卡盤和氣冷溫控器組成。系統具有寬泛的溫度控制范圍、緊湊的冷卻套件、純空氣制冷、高溫度精度與穩定性控制等特性，應用于八英寸及以下尺寸的半導體器件或晶圓的變溫電學性能關鍵參數分析，如：功率器件建模測試、晶圓可靠性評估、生產型變溫檢測，變溫光電測試、射頻變溫測試等。

高低溫載物臺CHUCK

特征:

• 僅使用空氣冷卻—無液體或帕爾貼元件

• 溫度范圍為-65℃到200℃

• 模塊化系統，適合單獨測試的需要

• 冷卻劑占地面積小，節省空間

• 兼容各大主流生產型或分析型探針臺

• 可集成全套的軟硬件于一體

高低溫載物臺CHUCK

型號 TC-A200 TC-A300

溫度范圍 -65℃→+200℃；

可選300℃、400℃ 溫度均勻性 <±0.5℃@<100℃；±0.5%@>100℃

溫控系統分辨率 ±0.01℃

溫度穩定性 ±0.1℃

表面平整度 <±8μm@-60℃→+200℃；<±15μm@200℃→+300℃

溫控方式 電加熱/潔凈壓縮空氣（CDA）冷卻

表面材料 鍍鎳（可選鍍金）

系統: •

-65oC 到 +200oC 擴展溫度范圍，低噪聲，直流控制系統。

• 在前面板上可設置多達5個溫度和斜坡/浸泡/循環熱循環裝置。

• LAN ， RS232；可選:GPIB.

• 無需液氮或任何其它消耗性制冷劑.

• 高效的冷卻系統，用于可靠、低溫測試混合動力車和其他高功率設備.

高低溫度卡盤:

• 溫度控制真空卡盤可容納300毫米的晶圓.

• 高精度，控溫性好，穩定性均勻.

• 可提供標準、高隔離性和防護配置.

• 卡盤設計提供了低雜散電容和高接地電阻，直流電源能使電噪聲最小化.

• 可與手動或自動探測站、激光切割器或檢查站進行接口。