4800 系列橡膠密封熱式質量流量計和控制器
響應時間極快,適用于對時間要求嚴格的工藝
型號 4850 / 4860
熱式質量流量計和控制器的響應速度越快,工藝就越高效,生產效率越高。響應速度是 4800 系列的主要優勢:該產品將基于 MEMS 的高級熱傳感器與的 PID 算法相結合以優化控制閥的響應速度,因此使4800 系列控制器能夠根據設定值變化快速匹配實際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項能便于用戶對設備進行查看、控制和配置,
特點
- 流量響應時間(完成時間)<0.75>0.75>
- 創新型 MEMS 傳感器和的 PID 算法
- 尺寸小巧,不足常規熱式MFC的 一半:1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
- 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設置和操作;免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設備監測和調零
- 通過 RS-232 實現數字化功能
優勢
- 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
- 響應速度快,可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
- 非常適用于各 OEM:尺寸小巧,可輕松集成至緊湊的設備空間內并有助于加快安裝
- 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設定值控制和設備配置的一站式解決方案;無需借助遠程二次儀表
- 擁有多種通信方式,可輕松滿足用戶需求
應用
- 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
- 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統
- 用于測量和控制反應物、校準和樣品氣體流量的分析設備