XSE  FFU：

FFU為英文縮寫，全稱為 Fan Filter Units, 中文意思為“風機濾網單元”。確切地說是一自帶動力、具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。風機從FFU頂部將空氣吸入并經HEP過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風面以0.45m/s±20%的風速均勻送出。

FFU工作時間長，低噪聲、免維護、震動小、可無級調速或分檔調速，風速均勻，安裝方便等。FFU可模塊化連接使用，使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產線、組裝式無塵室和局部百級等應用場合。

可訂制各種特殊規格尺寸,箱體可按客戶要求選擇冷板靜電噴涂材質、不銹鋼材質及鍍鋁鋅板材質。

FFU具有特點

靈活性：因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二可再利用性：從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三負壓通風：這是FFU的特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且安全。

第四縮短建設周期：使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五減少運行成本：雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點。