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低溫硅分析系統(tǒng) Cryosas

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱通透光學(xué)儀器(成都)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)Cryosas
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/7/5 7:21:27
  • 訪問(wèn)次數(shù)331
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通透光學(xué)儀器(成都)有限公司,是一家致力于為客戶提供一站式實(shí)驗(yàn)室解決方案的系統(tǒng)集成商,公司主要人員來(lái)自于以顯微鏡為主的光學(xué)微區(qū)形態(tài)學(xué)分析系統(tǒng),化學(xué)元素分析系統(tǒng),長(zhǎng)度計(jì)量分析系統(tǒng),時(shí)間微區(qū)解決系統(tǒng),半導(dǎo)體綜合測(cè)試系統(tǒng)等領(lǐng)域的工程背景研發(fā)和銷售人員。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司擁有自研品牌 TONT INSIGHT 的顯微分析系統(tǒng),我們提供從宏觀尺度的三維激光掃描儀、亞宏觀的工業(yè)視頻內(nèi)窺鏡、元素分析光譜儀、微觀領(lǐng)域的顯微分析系統(tǒng)、超微觀領(lǐng)域掃描電鏡、納米CT,到原位微區(qū)的熒光壽命、納米力學(xué)、納米壓痕、高溫納米分析、原位光譜等多種跨學(xué)科分析系統(tǒng)。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司是德國(guó)布魯克分子光譜、北京中科科儀KYKY、深圳古安泰等的簽約代理商,彼此之間密切合作,共同服務(wù)于工業(yè)儀器行業(yè)的客戶。 通透光學(xué)儀器(成都)有限公司總部位于成都,在北京、上海、廣州、深圳、西安等地設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)與代表處,建立了覆蓋全國(guó)的營(yíng)銷網(wǎng)絡(luò)與技術(shù)服務(wù)中心。我們來(lái)自成都,我們堅(jiān)持口碑,我們不崇洋媚外,我們不迷信品牌,我們只賣(mài)對(duì)的,不賣(mài)貴的,我們始終堅(jiān)持中立的原則為您提供最合適的解決方案。我們?cè)敢庥梦覀兊慕?jīng)驗(yàn)和行業(yè)儲(chǔ)備,為信任我們的顧客提供另一種選項(xiàng),讓您始終有多種可選方案。 一幫志同道合的人,付出一輩子的時(shí)間,干好一件平凡的事!
傅里葉近紅外光譜儀
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低溫硅分析系統(tǒng) Cryosas 產(chǎn)品信息

低溫硅分析系統(tǒng)

Cryosas


低溫硅分析系統(tǒng)

布魯克光譜低溫硅分析系統(tǒng)(CryoSAS) 是一款專用于分析低溫(<15K)下硅中雜質(zhì)的一體化系統(tǒng),專為工業(yè)環(huán)境設(shè)計(jì)。

CryoSAS 內(nèi)置了一個(gè)布魯克高性能的傅立葉紅外光譜儀,閉循環(huán)的低溫制冷技術(shù),不需要液氦。所有CryoSAS部件都是的,其的技術(shù)滿足了多晶硅生產(chǎn)環(huán)境中的艱難分析工作。CryoSAS 能夠?qū)崿F(xiàn)高水平的全自動(dòng)操作,包含準(zhǔn)確的報(bào)告及分析結(jié)果。

聯(lián)系我們的銷售團(tuán)隊(duì),獲取關(guān)于CryoSAS的更多信息!

產(chǎn)品特點(diǎn)包括:

高靈敏度:

CryoSAS  依據(jù)ASTM/SEMI MF1630標(biāo)準(zhǔn)分析淺層雜質(zhì)(例如硼、磷等等),濃度可低至ppta水平。此外,依據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn),可以分析碳/氧含量,濃度可低至ppba水平。

在低溫條件下(~12 K),CryoSAS 硅中碳測(cè)試結(jié)果(上圖),硅中硼、磷測(cè)試結(jié)果(下圖)

 

閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng):不需要耗費(fèi)昂貴的低溫制冷劑

高可靠性的閉循環(huán)低溫系統(tǒng)冷卻檢測(cè)器和樣品倉(cāng)。與液氦制冷系統(tǒng)相比,閉循環(huán)系統(tǒng)每年可以節(jié)省制冷操作費(fèi)用50,000歐元,甚至更多。

CryoSAS 低溫樣品倉(cāng)及9個(gè)自動(dòng)化樣品架。

CryoSAS操作軟件主屏顯示了當(dāng)前的樣品及選擇的分析方法

不銹鋼設(shè)計(jì)樣品倉(cāng):
方便樣品替換

樣品倉(cāng)配有穩(wěn)定的光學(xué)系統(tǒng)及自動(dòng)樣品頭。樣品倉(cāng)內(nèi)部的大尺寸方便樣品架進(jìn)入。

機(jī)械泵及渦輪泵的結(jié)合:
簡(jiǎn)單清潔的真空系統(tǒng)

使用快速可靠的機(jī)械泵和渦輪泵抽真空。

堅(jiān)固的9個(gè)樣品支架及精密的步進(jìn)馬達(dá):

穩(wěn)定的轉(zhuǎn)移平臺(tái)及支架支持多樣品分析,高性能馬達(dá)及固體機(jī)械系統(tǒng)確保精確的樣品測(cè)試。樣品及樣品架在樣品倉(cāng)內(nèi)的安裝非常容易。特殊設(shè)計(jì)的鍍金OFHC 銅樣品架保證了溫度的均一性。

易用性:

CryoSAS 提供了適用于工業(yè)環(huán)境的簡(jiǎn)易操作。所有的真空和制冷系統(tǒng)都由程序控制。冷卻和開(kāi)始測(cè)量是簡(jiǎn)單的按鈕操作。操作者無(wú)需是光譜儀專家或者真空系統(tǒng)專家。

專用的CryoSAS 軟件根據(jù)工業(yè)質(zhì)量控制設(shè)計(jì)。它可以通過(guò)觸摸屏操作。操作者只需選擇想要的分析方法、輸入樣品信息,然后按下開(kāi)始按鈕即可啟動(dòng)測(cè)量。CryoSAS 可以全自動(dòng)的冷卻樣品并開(kāi)始紅外測(cè)量、評(píng)價(jià)結(jié)果、生成分析報(bào)告。

技術(shù)參數(shù)

光譜范圍:1500-280 cm-1  檢測(cè)器的測(cè)試范圍

  • 依據(jù)ASTM/SEMI MF1630標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試單晶硅的III族 和 V族淺層雜對(duì)于3mm厚的楔形樣品,可達(dá)檢測(cè)限為:
    - 10 ppta 磷
    - 30 ppta 硼

  • 依據(jù)ASTM/SEMI MF1391標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試替代碳。此方法需要FZ法制備的無(wú)碳標(biāo)準(zhǔn)樣品以及厚度和表面都可比的待測(cè)樣品。對(duì)于厚度為3mm的楔形樣品,碳濃度檢測(cè)下限達(dá)20 ppba

CryoSAS 典型分析案例報(bào)告保函相關(guān)信息和結(jié)果


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