zonglen半導體工藝冰水機Chiller

ZL802是一臺循環液進行溫度控制并將其供給至客戶的冷熱源的裝置。具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置，采用控溫設計和技術，具有廣泛的溫度范圍：-80℃至+300℃，在半導體制作過程激光加工機/分析裝置/LCD制造裝置/金屬模具溫控等廣泛用途中成果較多。

zonglen半導體工藝冰水機Chiller 特點

·溫度范圍:-80℃~+300℃

·溫度穩定性±0 .1℃℃

·PLC觸摸屏操作，人機交互界面

·結構簡單、可靠性高

·定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

·溫度波動小

zonglen半導體工藝冰水機Chiller 應用

·應用于半導體、激光、焊接機、食品、包裝機，如：半導體（蝕刻裝置、CMP、涂布機）·顯影機、試驗機、清洗機）激光（激光加工機·激光焊接機、激光器、、光纖激光器用傳送電纜接頭、超聲波檢查裝置、二次電池制造工程）

·焊接機（弧焊、電阻焊接、高頻感應加熱設備）

可用選項

·省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。

可對應溫度穩定性±0.1℃、溫度范圍-80℃~+300℃。

循環液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水（純水）。

冷卻方式：風冷式（可選配水冷式）