氦檢質譜漏儀的原理
氦檢質譜漏儀可查找漏點位置并測定漏率（通過漏孔的氣體流量）。因此，氦質譜檢漏儀是一臺氦流量計。
檢漏儀在工作過程中首先是對試驗對象進行抽真空，來形成壓差使外部氣體穿過漏孔進入檢漏儀。檢漏儀利用內置氦質譜儀測量進入檢漏儀氣體氦分壓并將測量結果轉換為漏率顯示。顯示值單位一般采用流量單位。
重要技術規范
測量范圍和響應時間是檢漏儀的兩個重要的參數。
測量范圍用小和可檢漏率限定。
小可檢漏率用靈敏的測量范圍系統的漂移與噪聲之和定義。每分鐘內系統噪聲幅度和零點漂移相加就可以得到低可檢漏率。檢漏儀的零點漂移量非常小，所以一般僅采用噪聲幅度就可以確定檢漏儀的小可檢漏率。可檢漏率依賴于所采用的檢漏方法，利用逆流法和分流法（參見下面的說明）可以測量非常大的漏率。此外，檢漏儀內部的多級高阻抗輸入開關放大器也能提高檢漏儀測量大漏的能力。在實際的檢漏操作過程中特別是查找漏點的時候，響應時間十分重要。該時間指從用氦氣噴吹試驗對象直到檢漏儀顯示測量值所用的時間。電子信號調節電路系統的響應時間是總響應時間的重要組成部分。對于檢漏儀來說，電氣系統的響應時間遠小于1秒。
檢漏設備對氦的有效抽速決定了氦氣通過漏孔進入檢漏儀的時間（如果檢漏設備沒有輔助抽空的系統，檢漏儀內置的真空泵的大小會影響系統的響應時間）。檢漏系統的響應時間可根據下面的簡單公式計算：
氦響應時間
(達到實際漏率95%的時間)
其中 V = 試驗對象容積
SHe = 檢漏系統對氦的有效抽速。
用標準漏孔校準檢漏儀
檢漏工藝要求準確地區分漏與不漏的試用對象，避免任何失誤。這就需要由標準漏孔（能產生已知氦漏率的人工漏孔）作為檢漏設備的基準。為了獲得準確的漏率數據，必須使用標準漏孔對校準檢漏儀進行校準。
萊寶真空可以提供采用不同原理設計的漏率范圍10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦標準漏孔。所有標準漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 聯邦物理技術協會） 和
DAKKS認證認可的標準。根據客戶的要求， 每個氦標準漏孔都可以提供由DAkkS認證認可委員會頒發的校準證書。校準工作由萊寶真空在PTB的DAKKS校準實驗室完成。
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PHOENIX L300i MODUL是模塊化的檢漏儀。它以PHOENIX L300i為基礎，但沒有集成前級真空泵。客戶可以根據特定用途選擇并添加外部前級真空泵。適合大型真空室檢漏或快速循環檢大漏等檢漏應用。
PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性，并可以根據客戶需求配置前級泵。
兩個基本類型：
- 干式檢漏系統（配置干式前級泵）
- 油式檢漏系統（配置油封式前級泵）
PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵
根據檢漏應用的要求配置抽速適當的前
級泵將檢漏儀的功能發揮到。
客戶得益
- 高效的檢漏儀
- 抽速按照特定用途進行了優化
- 響應速度快
- 高靈敏度
- 可以快速定量地檢測出小漏
PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵
為客戶提供高效的干式檢漏系統。
客戶得益
- 大抽速，可用于測試半導體生產設備
而不必采用輔助抽空系統
- 響應速度快
- 恢復時間短（氦污染后）
- 干燥無油
- 高靈敏度
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PHOENIX L300i MODUL配置油封前級泵
典型應用
涉短循環和/或大容積、需要有移動式
檢漏系統的所有用途，例如：
- 汽車工業
- 制冷行業
- 工業爐/機床/真空系統
- 包裝
PHOENIX L300i MODUL配置干式前級泵
典型應用
需要工藝清潔的所有用途，例如：
- 半導體產業（芯片制造商）
- 半導體產業（OEM和分包商）
- 高純度氣體行業
- 科研
- 超高真空應用
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技術參數 | PHOENIX L300i MODUL | |||||||
配置單級旋片泵 | 配置雙級旋片泵 | 配置渦旋泵 | ||||||
小可檢氦漏率真空模式吸槍模式（實驗室數據） | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 5 x 10-11 < 7 x 10-9 | ≤ 5 x 10-12 < 7 x 10-9 | ≤ 8 x 10-12 < 7 x 10-9 | ||||
小可檢氫漏率真空模式吸槍模式 | 毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ≤ 1 x 10-8 < 1 x 10-7 | ||||
入口高壓強帶分流系統 | 毫巴（托）毫巴（托） | 15 1000 | 15 1000 | 15 1000 | ||||
抽真空期間的抽速，泵（50赫茲） | ||||||||
SOGEVAC SV 16 BI | 立方米/小時 | 16 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 28 BI | 立方米/小時 | 25 | – | – | ||||
SOGEVAC SV 40 BI | 立方米/小時 | 40 | – | – | ||||
TRIVAC D 16 B | 立方米/小時 | – | 16 | – | ||||
TRIVAC D 25 B | 立方米/小時 | – | 26 | – | ||||
SCROLLVAC SC 15 D | 立方米/小時 | – | – | 13 | ||||
SCROLLVAC SC 30 DL | 立方米/小時 | – | – | 26 | ||||
入口抽速（氦） | 升/秒 | > 3 1 | > 3 1 | > 3 1 | ||||
漏率信號時間常數（達63%終值） | 秒 | < 1 | < 1 | < 1 | ||||
小可檢漏率 | 毫巴x升x秒-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | 1 x 10-12 to 1 · 10-1 | ||||
測量單位（可選）壓強漏率吸槍模式 | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq | mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3 x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq | |||||
檢漏儀啟動時間 | 分鐘 | < 2 | < 2 | < 2 | ||||
質譜儀 | 180°扇形磁場 | 180°扇形磁場 | 180°扇形磁場 | |||||
離子源 | 2氧化釔/銥長效陰極 | 2氧化釔/銥長效陰極 | 2氧化釔/銥長效陰極 | |||||
可檢測質量數 | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | 2, 3 和 4 | |||||
入口 | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | 1 x DN 25 ISO-KF | |||||
尺寸（寬x高x深） | mm | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | 495 x 456 x 314 | ||||
重量 | 千克(磅) | 30 | 30 | 30 | ||||
語言 | 英語、德語、中文、日語、俄語、法語、意大利語、西班牙語、波蘭語和朝鮮語 | |||||||
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訂貨信息 | PHOENIX L300i MODUL | ||
產品號 | 產品號 | ||
PHOENIX L300i MODUL無前級真空泵 115-230V，50/60Hz | 250002V01 | 250002V01 | |
附件 | |||
推薦的前級真空泵 SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D SCROLLVAC SC 30 DL | 歐洲版230V, 50Hz 960 286960 277根據需求提供113 25113 35133 001 133 050 | 美國版 115V, 60Hz 根據需求提供 根據需求提供根據需求提供 根據需求提供 根據需求提供 133 101 133 051 | |
其他附件參見“PHOENIX L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX L300i MODUL附件”部分。 更多信息請聯系萊寶：安博元科技 info | |||
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