用途：適用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測(cè)試、半導(dǎo)體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導(dǎo)線框架等產(chǎn)品的檢查觀察.也適用于經(jīng)過磨拋、化學(xué)處理的工件表面的金相組織結(jié)構(gòu)，幾何形狀進(jìn)行顯微觀測(cè)。并且有三維的測(cè)量功能，其解析率達(dá)0.0005mm。適用于集成電路，半導(dǎo)體芯片，光伏電池，光學(xué)材料等行業(yè)。
1. 鏡筒：鉸鏈?zhǔn)饺款^部
2. 高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡: WF10X/22mm
3. 平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡：
倍率 | 5X | 10X | 20X | 50X(選配) |
NA | 0.15 | 0.30 | 0.35 | 0.50 |
W.D(mm) | 44 | 34 | 29 | 17 |
焦點(diǎn)距離(mm) | 40 | 20 | 10 | 4 |
分解率(µm) | 2.3 | 1 | 1 | 0.6 |
焦深(µm) | 15 | 3.5 | 3.5 | 1.1 |
4. 落射式照明系統(tǒng)： 高亮度LED燈
5. 調(diào)焦結(jié)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦, 帶鎖緊和限位裝置，
粗動(dòng)升降范圍30mm，微動(dòng)格值，0.001mm*100格，。
6. 透射光源：LED光源，1W，亮度可調(diào)A
7. Z軸升降范圍：38mm以內(nèi)，手輪轉(zhuǎn)動(dòng)130mm，允許工件 130mm，數(shù)顯解析值 0.0005mm 導(dǎo)軌精度(3+L/1000)um
X軸移動(dòng)范圍：200mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動(dòng)快進(jìn)，
Y 軸移動(dòng)范圍：100mm 解析率：0.001mm 可解鎖手動(dòng)快進(jìn)，
測(cè)量精度(3+L/100)um (L: 被測(cè)長(zhǎng)度,um)
落射光測(cè)量誤差≤0.08%
8. Z軸采用裂像法原理進(jìn)行觀察測(cè)量，結(jié)合精密的Z軸導(dǎo)軌，可有效保證測(cè)量的準(zhǔn)確度。
9.工作臺(tái)尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作臺(tái)承重: 30kg
10.儀器外型尺寸：380mm*550mm*830mm
11.凈重：100kg 毛重：120kg
1.顯微成像系統(tǒng)
1.非接觸式的高度測(cè)量，深度測(cè)量
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