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MCPD series 嵌入式膜厚測試型

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱大塚電子(蘇州)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間2024/10/15 8:06:24
  • 訪問次數150
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  大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。


  以高速?高精度?高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎, 在中國的顯示器 市場上有著20年以上銷售實例, 為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源?照明 相關方面,對研究機構、各個廠家的銷售量在逐步擴大。


  在中國的蘇州有設立售后服務點,為了能迅速且周到的為顧客服務而努力。


  我公司的母公司日本大塚電子集團,隸屬于大冢集團, 一直以來都謹守大冢集團 的企業理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢 為人類的健康創造革新的產品), 不斷的推出創新產品,為社會作出貢獻。

納米粒度儀,Zeta電位儀,膜厚儀
本公司的MCPD series,由于采用柔軟纖維的事,從In-Situ到內聯各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測量原理為分光干涉方式,在實現高測量再現性的同時,還支持多層厚度測量。通過采用獨自算法,可以高速實時監控。...
MCPD series 嵌入式膜厚測試型 產品信息

產品信息

特 點

●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)

●最短曝光時間1ms~※根據規格

●由于是柔性纖維光學系統,容易組裝到半導體工藝裝置中

●可從上層遠程控制

●于研磨中膜厚終點檢測

基本配置

基本構成図(1).png

裝置組裝示意圖


組込みイメージ.png


測量案例

測定例.png


  適應過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等

仕様

MCPD-9800仕様

1686105796157.jpg

MCPD-9800仕様

1686105880964.jpg



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