| 分子泵維修 |
分子泵結構特點 泵腔內有可旋轉的轉子，轉子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個溝槽就相當于一個單級分子泵，后一級的入口與前一級的出口相連。轉子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進入泵腔，被轉子攜帶到出口側，經排氣管道由前級泵抽走。牽引分子泵的優點是起動時間短，在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機械故障等，因此除特殊需要外，實際上很少應用。曾一度被結構和制造簡單，抽速大的擴散泵所代替。
分子泵的原理 分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。 |
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