概述
iH 系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
應用
- 負載鎖
- 輸送
- 計量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 預清潔
- RTA
- 剝離/灰化
- 刻蝕
- 植入源
- HDP CVD
- RTP
- SACVD
- MCVD
- PECVD
- LPCVD
- ALD
有關任何特定應用條件下 iH 系統穩定性的建議,請與 Edwards 聯系。
功能和優勢
- 優化了設施消耗。
- 無需預防性維護。
- 懸臂軸和的異型轉子便于顆粒的處理。
- 在節省電機功率的同時大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
- 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
- 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的。
- 整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。
數據
峰值速度 | 165 m3h-1 |
97 cfm | |
2750 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-2 mbar |
7.5 x 10-3 Torr | |
1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進氣口連接 | ISO63 |
連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 120 l h-1 |
2 l min-1 | |
重量 | 244 kg |
極限功率輸入 | 3.1 kW |
電機額定功率 | 5.0 kW |
油容量 | 0.85 l |
數字均為無氣鎮時的典型值。