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EPX180NE 半導體干式真空泵

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海赫哲真空設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號EPX180NE
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2025/3/16 7:45:03
  • 訪問次數29
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上海赫哲真空設備有限公司是一家依靠德國*技術、*海歸工程師團隊組成,以真空設備銷售和維修為主,集科研開發、工程項目、技術服務于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強大的售后團隊,在上海設有專業維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產品的技術支持及售后服務,公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機械泵等真空泵的維修保養技術、各類工具和必要的部品,能應客戶要求,對客戶工廠設置的真空機器、設備提供定期維護、保養服務。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關設備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產品廣泛應用于車輛、土木建筑工程、機械、包裝、環境保護、醫藥及醫療器械、石油、化工、食品、光學、電氣、電子、原子能、半導體、航空航天、低溫、*機械、紡織、造紙、農業以及民用工業等工業部門和科學研究工作中。依托*的質量、*的技術、人性化的管理、多元化的解決方案和服務,以上海為中心輻射到全國各地,深受海內外客戶的認可。                          

除提供優質的服務及咨詢,并且堅實的后勤工作團隊,為客戶提供質量及技術的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進,為新老客戶提供優質的產品和服務,歡迎各界朋友前來洽談合作,共創未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關設備配件
新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。EPX NE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到結構的網絡,以進行遠程控制和監視。
EPX180NE 半導體干式真空泵 產品信息

製品概要

新的緊湊型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能,運行成本更低。 EPX180 使用了的保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
EPX NE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現獨立使用的本地控制,并能夠連接到結構的網絡,以進行遠程控制和監視。

應用

  • 負載鎖
  • 傳輸腔
  • PVD 濺射
  • 灰化/PR 剝離
  • 電介質刻蝕

EPX 系列涵蓋的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應用范圍擴大為中等制程,在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。

功能和優勢

  • 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
  • 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
  • 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在進氣口壓力下連續工作。
  • 清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
  • – EPX 基于經過現場驗證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
  • 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

數據

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
極限真空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
預熱時間(達到標稱性能) 30 分鐘
入口法蘭 ISO63
法蘭 NW25
噪音 <59 dB(A)
冷卻水流速 2 lmin-1
冷卻水溫度 15 – 35°C
氮氣供給接口 1/4 in (6.5 mm) 管
氮氣供給壓力 3 x 105 – 7 x 105 Pa
低氮純度 99.95%
電源供給 400 V,50/60 Hz,3 相
極限功率 1.4 kW
電機額定功率 3.0 kW
TIM
重量 43.5 kg
關鍵詞:控制器
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