概述
模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。
應用
- 負載鎖
- 傳輸腔
- PVD 濺射
- 灰化/PR 剝離
- 電介質刻蝕
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊,從而可將應用范圍擴大為中等制程,在這類制程中預期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
功能和優勢
- 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一,EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。
- 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可大化功率效率。
- 的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在進氣口壓力下連續工作。
- 清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。
- – EPX 基于經過現場驗證的 IPX ,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,大程度地延長了泵的使用壽命。
- 可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制,可以連接到結構的網絡,以進行診斷監視和控制。
數據
峰值速度 | 500 m3h-1 |
| 295 ft3min-1 |
| 8338 lmin-1 |
極限真空 | |
| <1 x 10-6 mbar |
| <7 x 10-7 Torr |
| <1 x 10-4 Pa |
預熱時間(達到標稱性能) | 30 分鐘 |
入口法蘭 | ISO160 |
法蘭 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) |
冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
氮氣供給壓力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
低氮純度 | 99.95% |
電源供給 | 200/208 V,50/60 Hz,3 相 |
極限功率 | 1.4 kW |
電機額定功率 | 3.0 kW |
TIM | C3 |
重量 | 45.2 kg |