概述
多年以來,Edwards Diffstak 100(ISO100 進氣口)設計已通過數千例安裝的泵得到證實。
此泵氣動操作的高真空隔離閥,并且配備了:NW25 彎管、NW25 定心環、NW25 夾、水管連接和套圈以及進氣口 ISO 100 Co-Seal。
數據
抽速 | |
氮氣 | 280 l s-1 |
氫氣 | 500 l s-1 |
前級泵排量 | 5 m3h-1 |
的前級泵 | RV5 或 RV8 |
的液體 | Santovac® 5 |
液體充填量(干) | 125 ml |
與 6mm 壓縮接頭 | ISO100 |
前級連接 | NW25 |
冷卻水連接 | 兼容的進氣口連接 |
加熱器功率 | 0.65 kW |
冷卻水流速 (20°C) | 60 l h-1 |
重量 | 12 kg |
對于大吞吐量