製品概要
該泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于 STP-iXA3305 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。 這一集成的產品易于安裝且占地面積小,可作為應用工具的一體化解決方案。
用途
- 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
- 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
- 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
- 濺射
- 離子注入源,射束線泵送和站
特性與優勢
- 緊湊型設計,包括集成的控制器
- 性自傳感磁力軸承系統
- 數字化 5 軸控制
- 與現有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
- 可以配置為運行腐蝕性制程
數據
入口法蘭尺寸 | ISO250F / VG250 / ICF305 |
前級抽氣口尺寸 | KF40 |
抽速 N2 | 2650 ls-1 |
抽速 Ar | 2300 ls-1 |
壓縮比 N2/H2 | >108 / 2 x 103 |
極限壓力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
允許的前級壓力 | 266 Pa (2 Torr) |
大氣流 N2 (僅水冷) | 4000 sccm |
| (6.76 Pam3s-1) |
大氣流 Ar (僅水冷) | 2100 sccm |
| (3.55 Pam3s-1) |
額定速度 | 27700 rpm |
啟動時間 | <10 分鐘 |
固定位置 | 任何方向 |
輸入電壓 | 200-240 V |
大輸入功率(不帶 TMS) | 1500 VA |
大輸入功率(帶 TMS) | 1800 VA |
重量 | 80 kg |
大氣流適用于在 25 oC 以下的水冷卻溫度下連續泵送 N2 或 Ar 氣體,并且使用前級泵(10,000 l/min 尺寸)的情況。 它會隨條件變化而變化。