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STP1003C 真空渦輪分子泵

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海赫哲真空設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STP1003C
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2025/3/20 7:17:50
  • 訪問次數35
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上海赫哲真空設備有限公司是一家依靠德國*技術、*海歸工程師團隊組成,以真空設備銷售和維修為主,集科研開發、工程項目、技術服務于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強大的售后團隊,在上海設有專業維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產品的技術支持及售后服務,公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機械泵等真空泵的維修保養技術、各類工具和必要的部品,能應客戶要求,對客戶工廠設置的真空機器、設備提供定期維護、保養服務。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關設備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產品廣泛應用于車輛、土木建筑工程、機械、包裝、環境保護、醫藥及醫療器械、石油、化工、食品、光學、電氣、電子、原子能、半導體、航空航天、低溫、*機械、紡織、造紙、農業以及民用工業等工業部門和科學研究工作中。依托*的質量、*的技術、人性化的管理、多元化的解決方案和服務,以上海為中心輻射到全國各地,深受海內外客戶的認可。                          

除提供優質的服務及咨詢,并且堅實的后勤工作團隊,為客戶提供質量及技術的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進,為新老客戶提供優質的產品和服務,歡迎各界朋友前來洽談合作,共創未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關設備配件
Edwards 防腐蝕 STP1003C 是的渦輪分子泵,可用于的半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。
STP1003C 真空渦輪分子泵 產品信息

概述

Edwards 防腐蝕 STP1003C 是的渦輪分子泵,可用于的半導體應用。Edwards 的轉子可實現的性能,大的制程靈活性。這種泵已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用,并得到了。

應用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點站
  • MBE
  • 擴散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長
  • 晶片檢查
  • 負載鎖真空腔
  • 科學儀器:表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應用:融合系統、回旋

功能和優勢

的轉子  
  • 大的制程靈活性
  • 無油
  • 低振動
  • 高度
  • 免維護
  • 可用于嚴苛制程(C 型)
  • 使用壽命延長
的控制器設計  
  • 自動調整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機驅動
  • 無電池運行
緊湊型設計  
  • 占地面積小
  • 半機架控制器

數據

入口法蘭 ISO200F
KF40
吹掃口 KF10
抽速
  N2 1000 ls-1
  H2 800 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >105
加熱時的極限壓力(VG/ISO 法蘭) 10-7 Pa

(10-9 Torr)
加熱時的極限壓力(ICF 法蘭) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
大連續壓力 13 Pa

(0.1 Torr)
額定速度 35000 rpm
啟動時間 6 分鐘
高入口法蘭溫度 120 °C
輸入電壓 100 至 120 (± 10) V 交流或

至 240 (± 10) V 交流
啟動時的功耗 0.8 kVA
泵重量 31 kg
控制器重量 9 kg

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