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STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海赫哲真空設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STP-iXA4506
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質代理商
  • 更新時間2025/3/20 8:53:44
  • 訪問次數47
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上海赫哲真空設備有限公司是一家依靠德國*技術、*海歸工程師團隊組成,以真空設備銷售和維修為主,集科研開發、工程項目、技術服務于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有強大的售后團隊,在上海設有專業維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產品的技術支持及售后服務,公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機械泵等真空泵的維修保養技術、各類工具和必要的部品,能應客戶要求,對客戶工廠設置的真空機器、設備提供定期維護、保養服務。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關設備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產品廣泛應用于車輛、土木建筑工程、機械、包裝、環境保護、醫藥及醫療器械、石油、化工、食品、光學、電氣、電子、原子能、半導體、航空航天、低溫、*機械、紡織、造紙、農業以及民用工業等工業部門和科學研究工作中。依托*的質量、*的技術、人性化的管理、多元化的解決方案和服務,以上海為中心輻射到全國各地,深受海內外客戶的認可。                          

除提供優質的服務及咨詢,并且堅實的后勤工作團隊,為客戶提供質量及技術的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進,為新老客戶提供優質的產品和服務,歡迎各界朋友前來洽談合作,共創未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關設備配件
Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。
STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵 產品信息

製品概要

Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰性的應用提供業內的性能、更好的氣流能力和高溫管理。

用途

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送和站

特性與優勢

    • 由于采用全集成控制器和電源,不需要電纜和單獨的
    • 控制器安裝卡槽,從而使 TMP 組件具有成本效益且結構緊湊,能夠快速簡單地安裝在狹小的空間。
    • 大連續流量達 4300 sccm (N2),與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
    • 使用高 35 °C 的冷卻水供應時,泵能夠高效運轉。
    • 提供了溫度管理系統 (TMS) 裝置,用于處理在過程中產生的副產品。
    • I/O 遠程、RS232C、RS485、STP-Link 是標配端口。
    • UL 標記,CE 標記,符合 SEMI-S2 和 RoHS 標準。

數據

法蘭
KF40
抽取速度

N2/H2 升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
壓縮比 N2/H2
>108 / 103
極限壓力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
允許的前級壓力 Pa (Torr) 266(2)
大氣體流速 N2 1
4300
(僅水冷卻) (Pa m3/sec) (7.26)
大氣體流速 Ar 1
2600
(僅水冷卻) (Pa m3/sec) (4.39)
額定速度 rpm 24,240
啟動時間 分鐘 11
固定位置
任何方向
輸入電壓 V 200-240
大輸入功率

不帶 TMS VA 1700
帶 TMS VA 2200
重量 kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111

關鍵詞:控制器
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