概述
我們強(qiáng)烈建議僅使用等級(jí)和質(zhì)量的液體和密封劑，以便使 Edwards 產(chǎn)品保持高性能。如果使用劣質(zhì)材料，可能會(huì)導(dǎo)致泵或系統(tǒng)效率降低、設(shè)備部分或故障以及嚴(yán)重的漏氣。我們認(rèn)為在許多嚴(yán)苛的應(yīng)用中，使用性未經(jīng)驗(yàn)證的液體和密封劑反倒不。我們的液體和密封劑均經(jīng)過(guò)正規(guī)實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)。而且，我們通過(guò)自行使用這些材料，以及通過(guò)與出現(xiàn)非典型問(wèn)題的用戶(hù)保持密切聯(lián)系，獲得了相當(dāng)豐富的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn)。許多的設(shè)備性能不佳問(wèn)題終都是由于使用了不適當(dāng)或不合格的液體和密封劑而造成的，因此我們鄭重勸告您為應(yīng)用選擇正確的液體和密封劑。
基于礦物的材料
這些材料包括旋轉(zhuǎn)泵油、Diffstak 以及擴(kuò)散泵油和油脂。它們可針對(duì)不同的應(yīng)用選用添加劑。
基于硅的材料
這些材料用于 Diffstak 以及擴(kuò)散泵液體和油脂。它們由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷構(gòu)成。
有機(jī)化合物
這些材料包括受阻酯類(lèi)、苯基醚類(lèi)和基于萘的化合物。它們適用于 Diffstak 和擴(kuò)散泵，但在有些的應(yīng)用中，也可以用作旋轉(zhuǎn)泵油。Edwards 可以對(duì)液體與特定應(yīng)用之間的匹配提供建議。
氟化材料 (PFPE)
這些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一種氟化的材料，沒(méi)有其他鹵素和氫，因此對(duì)要求不含碳?xì)浠衔锏那闆r有價(jià)值。它會(huì)對(duì) UF6、F2、O2、O3 等大多數(shù)活性化學(xué)物質(zhì)保持惰性，并且在暴露到電子和大多數(shù)離子輻射中時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合反應(yīng)。全氟聚醚液體提供適用于旋轉(zhuǎn)泵的等級(jí)。還提供低蒸汽壓力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，該油脂同時(shí)具有良好的潤(rùn)滑特性和的真空特性。
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的 PFPE
在侵蝕性制程條件會(huì)快速破壞普通碳?xì)浠衔锉糜偷膽?yīng)用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量將出現(xiàn)大量增長(zhǎng)。這尤其適用于半導(dǎo)體制程中。PFPE 的防腐蝕特性和化學(xué)惰性可大大延長(zhǎng)工作時(shí)間，減少換油和維修次數(shù)，為許多嚴(yán)苛的泵應(yīng)用提供性?xún)r(jià)比的解決方案。以下為 PFPE 的基本特性及其在真空系統(tǒng)應(yīng)用中
的優(yōu)勢(shì)：
說(shuō)明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的溫度下，將釋放出有毒蒸汽。請(qǐng)勿將 PFPE 暴露在明火中，并且工作場(chǎng)合禁止吸煙。
基于礦物的材料
這些材料包括旋轉(zhuǎn)泵油、Diffstak 以及擴(kuò)散泵油和油脂。它們可針對(duì)不同的應(yīng)用選用添加劑。
基于硅的材料
這些材料用于 Diffstak 以及擴(kuò)散泵液體和油脂。它們由二甲基硅氧烷或苯基甲基硅氧烷構(gòu)成。
有機(jī)化合物
這些材料包括受阻酯類(lèi)、苯基醚類(lèi)和基于萘的化合物。它們適用于 Diffstak 和擴(kuò)散泵，但在有些的應(yīng)用中，也可以用作旋轉(zhuǎn)泵油。Edwards 可以對(duì)液體與特定應(yīng)用之間的匹配提供建議。
氟化材料 (PFPE)
這些材料是全氟聚醚。全氟聚醚是一種氟化的材料，沒(méi)有其他鹵素和氫，因此對(duì)要求不含碳?xì)浠衔锏那闆r有價(jià)值。它會(huì)對(duì) UF6、F2、O2、O3 等大多數(shù)活性化學(xué)物質(zhì)保持惰性，并且在暴露到電子和大多數(shù)離子輻射中時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合反應(yīng)。全氟聚醚液體提供適用于旋轉(zhuǎn)泵的等級(jí)。還提供低蒸汽壓力的 Fomblin® 油脂 (AR555)，該油脂同時(shí)具有良好的潤(rùn)滑特性和的真空特性。
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的 PFPE
在侵蝕性制程條件會(huì)快速破壞普通碳?xì)浠衔锉糜偷膽?yīng)用中，全氟聚醚 (PFPE) 化合物用量將出現(xiàn)大量增長(zhǎng)。這尤其適用于半導(dǎo)體制程中。PFPE 的防腐蝕特性和化學(xué)惰性可大大延長(zhǎng)工作時(shí)間，減少換油和維修次數(shù)，為許多嚴(yán)苛的泵應(yīng)用提供性?xún)r(jià)比的解決方案。以下為 PFPE 的基本特性及其在真空系統(tǒng)應(yīng)用中
的優(yōu)勢(shì)：
- 化學(xué)惰性：是泵送腐蝕性材料的理想選擇，尤其適用于半導(dǎo)體制程。
- 高抗氧化性：液體不會(huì)由于在工作溫度下反復(fù)暴露到空氣中而被破壞。
- 非易燃：無(wú)火災(zāi)危險(xiǎn)。
- 抗高溫：不會(huì)由于過(guò)熱而殘留焦油化合物。終減少氣態(tài)產(chǎn)物。
- 氧相容：可地泵送氧氣（經(jīng) NASA 批準(zhǔn)的液氧系統(tǒng)）。對(duì)純氧建議的高工作溫度和壓力是 250 oC 和 91.4 kg cm-2 ，以及 60 oC 和 175.75 kg cm-2。
- 無(wú)聚合反應(yīng)：暴露在高能粒子輻射下時(shí)不會(huì)發(fā)生聚合反應(yīng)（氫離子除外）。這可以減少回流蒸汽的影響，在不能出現(xiàn)聚合反應(yīng)的應(yīng)用中（例如在電子顯微鏡中）是一項(xiàng)重要特性。
- 能與大多數(shù)常用溶劑混合：即使不使用氣囊，也可以泵送溶劑。
說(shuō)明：全氟聚醚是氟化物，如果暴露在 280 °C 以上的溫度下，將釋放出有毒蒸汽。請(qǐng)勿將 PFPE 暴露在明火中，并且工作場(chǎng)合禁止吸煙。
應(yīng)用
Edwards TW 是為液體要暴露在活潑氣體或腐蝕性氣體中的旋轉(zhuǎn)泵應(yīng)用的：
- 蒸餾
- 半導(dǎo)體
- 化學(xué)泵
功能和優(yōu)勢(shì)
- 該油是蒸餾碳?xì)浠衔铮缓砑觿且讶コ伙柡玩満头枷沔湣Ｒ虼耍撚偷某掷m(xù)時(shí)間多可達(dá)到精制礦物油的 20 倍，具體取決于制程。更長(zhǎng)的油的使用壽命可減少換油次數(shù)。
數(shù)據(jù)
| 蒸汽壓力 mbar： | |
| 20°C | 1.3 x 10-6 |
| 100°C | - |
| 分子量 | 430 |
| 15°C 時(shí)的比重 | 0.860 |
| 粘度 cSt： | |
| 20°C 時(shí) | 155 |
| 40°C 時(shí) | 65 |
| 傾點(diǎn) °C | -12 |
| 閃點(diǎn) °C | 243 |
| 自燃點(diǎn) °C | 270 |
| 含硫量百分比（質(zhì)量/質(zhì)量） | 0 |
25 °C 時(shí)的蒸汽壓力
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