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TMC STACIS III - 主動壓電消振系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海頻標科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2025/3/29 9:07:21
  • 訪問次數28
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  上海頻標科技有限公司是一家專業的實驗室儀器設備及試劑耗材類產品的綜合服務提供商,集研發、集成、銷售、測試服務、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業務主要涵蓋實驗室各類測試測量及分析設備、試劑及耗材、成像及光譜、半導體微電子復雜系統及環境控制等多個領域。我司下設光電事業部、生命科學事業部、光譜事業部、半導體微電子事業部四大事業部,廣泛服務于各大科研院所、企業研發中心、半導體微電子、生命科學等領域中的眾多客戶,并長期以來秉承“請將問題交給我們,時間留給科研!”的企業理念,誠信、高效、專業地努力為客戶提供服務。
 
  上海頻標科技有限公司由來自于東京大學、中科院研究所、吉林大學及復旦大學等多位業內儀器儀表及解決方案領域的教授、博士、碩士等專業團隊構成,公司致力于打造實驗室綜合解決方案和服務提供商。我們崇尚專注、專業、專長,以努力為各類客戶提供專家型一站式服務為宗旨。
儀器儀表,實驗室耗材,光電,生命科學,半導體微電子,光譜
概述- STACISIII是一種靈活的高級主動隔振系統。STACIS采用的慣性振動傳感器、的控制算法和的壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。STACIS最初設計用于隔離半導體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設備,現已成為嘈雜環境(包括但不限于半導體工廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米制造設施和材料研究中心)......
TMC STACIS III - 主動壓電消振系統 產品信息

    STACIS III的優勢-    


STACIS比空氣隔振器硬數百倍,沒有任何空氣隔振系統的局限性。它沒有“軟”懸架,與主動空氣系統不同,STACIS可以放置在帶有內部主動空氣隔振系統的工具下方,使兩個系統都在狀態下運行。

的串行設計和專有的高力壓電技術 
可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的主動隔振性能。

    性能    

使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模擬振動來測試4500磅(2045千克)有效載荷


    規格    

性能規格

主動自由度

6

主動帶寬

0.6 Hz - 150 Hz

被動固有頻率

18 Hz垂直和水平

有效的主動共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時的隔振

40% - 70%

≥2 Hz時的隔振

≥90%

10磅(4.5千克)步進輸入后的穩定時間(減少10:1)

0.3秒

內部噪音

<0.1 nm RMSd>

每個隔振器的工作負載范圍

低承重能力:400 - 1100磅(182 - 500千克)
中等承重能力:900 - 2100磅(410 - 955千克)
高承重能力:1900 - 4500磅(864 - 2045千克)

剛度(1000磅/ 454千克質量、中等承重能力隔振器)

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

從距離隔振器4英寸(102毫米)處發射的磁場

<0.02 μG broadband RMSd>


隔振器設計、尺寸、環境和效用要求

環境和安全

符合CE和RoHS標準

主動隔振元件

最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷

被動隔振元件

單個硬質各向同性彈性體(無需壓縮空氣源)

振動傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于測量隔振器下方的地面振動,并提供與振動運動速度成正比的電壓

主動反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動

隔振器尺寸(寬x深x高)

11.75 x 12.5 x 10.8英寸
300 x 320 x 275 mm

隔振器重量

75磅(34千克)

工作溫度

50° - 90° F
10° - 32° C

儲存溫度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

濕度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系統電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
符合CE標準

地面位移

<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>

每個系統的隔振器數量

至少3個

可選附件

層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩


DC-2020控制器規格

尺寸(寬x深x高)

19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm

重量

6.3磅(2.9千克)

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個通道

模擬輸入

16個通道

狀態燈

單個LED

前面板端口

1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網RJ-45
2個BNC

后面板端口

1個串行USB 2.0
1個以太網RJ-45
1個RS-232 DB-9傳統串行,用于傳統的STACIS 2100隔振器

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴展GUI
嵌入式以太網GUI


    應用說明    

/products/stacis/stacisiii


    應用照片    






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