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TMC SEM-Base VI主動壓電消振

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱上海頻標科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2025/3/30 7:40:34
  • 訪問次數33
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  上海頻標科技有限公司是一家專業的實驗室儀器設備及試劑耗材類產品的綜合服務提供商,集研發、集成、銷售、測試服務、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業務主要涵蓋實驗室各類測試測量及分析設備、試劑及耗材、成像及光譜、半導體微電子復雜系統及環境控制等多個領域。我司下設光電事業部、生命科學事業部、光譜事業部、半導體微電子事業部四大事業部,廣泛服務于各大科研院所、企業研發中心、半導體微電子、生命科學等領域中的眾多客戶,并長期以來秉承“請將問題交給我們,時間留給科研!”的企業理念,誠信、高效、專業地努力為客戶提供服務。
 
  上海頻標科技有限公司由來自于東京大學、中科院研究所、吉林大學及復旦大學等多位業內儀器儀表及解決方案領域的教授、博士、碩士等專業團隊構成,公司致力于打造實驗室綜合解決方案和服務提供商。我們崇尚專注、專業、專長,以努力為各類客戶提供專家型一站式服務為宗旨。
儀器儀表,實驗室耗材,光電,生命科學,半導體微電子,光譜
概述 SEM-BaseVI是下一代STACIS主動壓電消振產品。SEM-BaseVI被設計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-BaseVI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面(GUI)。SEM-BaseVI使許多實驗室和設施達到了滿足工具制造商規格所需的地面振動水平。SEM-BaseVI采用的“串行結構”,其中的......
TMC SEM-Base VI主動壓電消振 產品信息

    SEM-Base VI的優勢    

硬安裝技術- SEM-Base VI與所有內部SEM振動控制系統兼容,可以從0.6 Hz開始主動減輕低頻地面振動。

主動慣性振動消除- SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能實現高水平的振動衰減。 

采用壓電技術的串行設計- 的串行設計和專有的高力壓電技術可實現0.6 Hz至150 Hz的寬主動帶寬和從2 Hz開始減振90%的慣性主動振動消除性能。


    規格    

性能規格

主動自由度

6

主動帶寬

0.6 Hz - 100 Hz

被動固有頻率

標稱值為12 Hz

有效的主動共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時的隔振

40% - 70%

2 Hz時的隔振

90%

≥3 Hz時的隔振

90 - 98%

內部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作負載范圍

標準承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁場發射
4英寸(102毫米)處
距離平臺

<0.02 μG broadband RMSd>


設計、尺寸、環境和效用要求

環境和安全

符合CE和RoHS標準

主動隔振元件

最小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號,其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷

被動隔振元件

單個硬彈性體(無需壓縮空氣源)

振動傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于
測量隔振器下方的地面振動,并
提供與振動運動速度成正比的電壓

主動反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧
下方測量、處理和
支撐隔離面

尺寸(寬x深)

35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米

高度

標稱6.3英寸(160毫米),
SEM-Base關閉時不會改變

工作溫度

50° - 90° F
10° - 32° C

儲存溫度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

濕度

80% at 20o C, Max dewpoint: 18o C

系統電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC;<600 W
符合CE標準

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>


內置控制器規格

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個通道

模擬輸入

16個通道

狀態燈

單個LED

前面板端口

1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網RJ-45
2個BNC

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴展GUI
嵌入式以太網GUI



    性能    

使用VC-C(500μ英寸/秒,12.5μ米/秒RMS)的模擬振動來測試1800磅(818千克)有效載荷

    配件    

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    應用照片    

 


應用說明

/products/stacis/sem-base

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