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磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)（Maglev Multi-axis Stage）

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公司名稱上海頻標(biāo)科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2025/3/30 8:17:43
訪問次數(shù)31

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

　　上海頻標(biāo)科技有限公司是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測(cè)試服務(wù)、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實(shí)驗(yàn)室各類測(cè)試測(cè)量及分析設(shè)備、試劑及耗材、成像及光譜、半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個(gè)領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學(xué)事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的眾多客戶，并長(zhǎng)期以來秉承“請(qǐng)將問題交給我們，時(shí)間留給科研!”的企業(yè)理念，誠(chéng)信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務(wù)。

　　上海頻標(biāo)科技有限公司由來自于東京大學(xué)、中科院研究所、吉林大學(xué)及復(fù)旦大學(xué)等多位業(yè)內(nèi)儀器儀表及解決方案領(lǐng)域的教授、博士、碩士等專業(yè)團(tuán)隊(duì)構(gòu)成，公司致力于打造實(shí)驗(yàn)室綜合解決方案和服務(wù)提供商。我們崇尚專注、專業(yè)、專長(zhǎng)，以努力為各類客戶提供專家型一站式服務(wù)為宗旨。

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儀器儀表，實(shí)驗(yàn)室耗材，光電，生命科學(xué)，半導(dǎo)體微電子，光譜

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

平臺(tái)特性集成式3 軸平臺(tái)，正交性設(shè)計(jì) 全局平面度、直線度達(dá)微米級(jí)X 軸高剛度防蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌無線纜擾動(dòng)力設(shè)計(jì)Z 軸垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實(shí)現(xiàn)定位精度高剛性、高精度導(dǎo)向設(shè)計(jì) 垂向增量光柵，可實(shí)現(xiàn)5 納米分辨率超薄型、輕量化設(shè)計(jì) 垂向可支持30mm 行程Rz 軸 360 旋轉(zhuǎn)，無管路纏繞，支持12’、8’晶圓真空吸附支持±0.7mm 翹曲晶圓支持轉(zhuǎn)速......

磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)（Maglev Multi-axis Stage）產(chǎn)品信息

平臺(tái)概要

磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用超薄型、正交性設(shè)計(jì)理念。能實(shí)現(xiàn)X、Z 和Rz 軸3 自由度的高精度、高剛度直線和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。其中垂向采用了的大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低垂向電機(jī)的載荷，極大的提高垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命的功能。可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。

技術(shù)參數(shù)

定制信息
磁浮多軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)可選項(xiàng)：在Maglev Multi-axis Stage 產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)。可選內(nèi)容包括編碼器、高精度標(biāo)定、控制系統(tǒng)等選項(xiàng)。

編碼器選項(xiàng)
-E1 增量式模擬光學(xué)式線性編碼器，1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器，TTL
-E3 式光學(xué)式線性編碼器，BISS

高精度標(biāo)定選項(xiàng)

-PLUS 高精標(biāo)定：產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束，出廠前對(duì)平臺(tái)進(jìn)行干涉儀標(biāo)定

控制系統(tǒng)選項(xiàng)

-PEG ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持PEG 等功能
-STO ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持STO 等功能
-VCL ACS 4 軸驅(qū)動(dòng)器，可選配支持自動(dòng)對(duì)焦等功能

關(guān)鍵詞：編碼器