半導體行業用超純水設備工藝
預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥18MΩ.CM)(工藝)
半導體行業用超純水設備特點
為滿足用戶需要,達到符合標準的水質,盡可能地減少各級的污染,延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上,取達國家自來水標準的水為源水,再設有介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等。 系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
半導體行業用超純水設備參數
1.原水水源(自來水,地下水井水,河水,湖水...),除了自來水,其它的水源,需要提供水質報告,水源不一樣,處理工藝不一樣,費用就有很大的差別;
2.配置(需要配置還是一般配置,就是指水泵有國產的還是進口的,反滲透膜用海德能的還是陶氏的...);
3.控制(用PLC全自動控制,還是手動控制);
4.出水水質要達到什么標準,電阻率要達到多少,有什么用途,如果不知道,也沒關系,告訴我們您是做什么產品的,我們做給您設計出符合您生產要求的方案;
系統應用場合
☆ 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路
☆ 電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗
☆ 電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
☆ 顯像管和陰極射線管生產、配料用純水
☆ 黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水
☆ 液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液
☆ 晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制
☆ 集成電路生產中高純水清洗硅片
☆ LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏
☆ 高品質顯像管、螢光粉生產
☆ 半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗
☆ 超純材料和超純化學試劑、超純化工材料
☆ 實驗室和中試車間
☆ 汽車、家電表面拋光處理
☆ 光電產品、其他高科技精微產品
芳泉凈水設備:(微信同號)