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詳細(xì)摘要： PECVD系統(tǒng)，它由管式爐，石英真空室、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1200-S管式爐型號(hào)TL1200-S-PECVD-ITL1200-S-PECVD-II功率1

詳細(xì)摘要： RTL1200-PECVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)RTL1200管式爐型號(hào)RTL1200-PECVD功率3

詳細(xì)摘要： 1200度滑竿式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)VTL1700管式爐型號(hào)VTL1700-CVD-IVTL1700-CVD-II功率7KW7KW爐管尺寸Dia60(OD)X1000mmDia80(O...

詳細(xì)摘要： 主要技術(shù)參數(shù)TL1200雙管管式爐型號(hào)TL1200-D-C-ITL1200-D-C-II功率3

詳細(xì)摘要： 此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到1000℃的預(yù)加熱器，輔助二維材料蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)管式爐，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便

詳細(xì)摘要： 1200度三溫區(qū)可調(diào)真空CVD系統(tǒng)

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1400管式爐型號(hào)TL1400-C-ITL1400-C-IITL1400-C-III功率5KW5KW6KW爐管尺寸高純剛玉管:60/80/100...

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1200管式爐型號(hào)TL1200-C-ITL1200-C-IITL1200-C-IIITL1200-C-IV功率3

詳細(xì)摘要： 1200度雙溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)

詳細(xì)摘要： 主要技術(shù)參數(shù)TL1200滑動(dòng)管式爐型號(hào)TL1200-H-C--ITL1200-H-C--IITL1200-H-C--IIITL1200-H-C--IV功率2

詳細(xì)摘要： 型號(hào)ALD-1200ALD控制面板1、5路控制溫控系統(tǒng)

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)VTL1200立式管式爐型號(hào)VTL1200-PECVD-IVTL1200-PECVD-IIVTL1200-PECVD-III功率3

詳細(xì)摘要： 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1200-1200管式爐型號(hào)TL1200-1200-PECVD-ITL1200-1200-PECVD-II功率3