1、電化學法：利用水中臭氧在電活化表面產生的點化學還原作用，點化回路中電流變化曲線與溶液中臭氧濃度成正比，這種儀器具有數據輸出功能，可在線測量而且能實現對臭氧發生器的閉環反饋控制，目前在大型水處理工程中應用。
2、碘量法：過去經典的丈量方法，用臭氧化氣使碘化鉀溶液中的碘油離出來而顯色，然后用硫代硫酸鈉滴定還原至無色，以消耗的硫代硫酸鈉數目計算臭氧濃度。此法顯色直觀，設備便宜，但要用各種藥品、洗瓶、量筒、天平、滴定管等化學試驗設備，使用不利便，且易受其他氧化劑(如NO/CL等)干擾，此法目前仍為我國的尺度丈量方法。
3、比色法：與碘量法同為化學法，是利用臭氧對化學試劑反應發生的顯色或脫色現象確定臭氧濃度，它可用碘化鉀、鄰聯甲苯胺或靛蘭染料等多種化學物質，可直接肉眼觀察與標準色管或比色盤比較，也可用分光光度計檢測，但測試藥品是一次性消耗品。
4、紫外吸收法：利用臭氧對波長=254nm紫外光的量大吸收值，使紫外光在臭氧氣氛中衰減，再經光電元件、電子電路(比較電路，數據處理，數模轉換)得到數據輸出，此方法精確，可連續在線量測，但該儀器價格較貴，一般作為檢測單位與生產、科研單位使用。
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