晶圓測(cè)厚儀采用機(jī)械接觸式測(cè)量方式，嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì)，有效保證了測(cè)試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測(cè)量，同時(shí)也滿足塑料薄膜、無(wú)紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測(cè)量。

技術(shù)特征

l 搭載7寸IPS觸控屏，采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.

l 測(cè)試過程按用戶設(shè)定程序，測(cè)量頭自動(dòng)升降測(cè)量，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印

l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集，支持500組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/查詢

l 支持多級(jí)用戶權(quán)限管理，測(cè)試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢，可審計(jì)追蹤。

l 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果的最大值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù)，方便用戶進(jìn)行判斷

l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定，保證測(cè)試的精度和數(shù)據(jù)一致性

l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置，實(shí)現(xiàn)無(wú)人工操作，系統(tǒng)全自動(dòng)測(cè)量

l 配備USB接口，專業(yè)測(cè)控軟件、可通過軟件操控儀器完成各項(xiàng)測(cè)量