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高低溫沖擊氣流儀ThermoTest Series超快溫變助力芯片良率提升

來源:無錫冠亞智能裝備有限公司   2025年03月26日 09:13  

  高低溫沖擊氣流儀ThermoTest Series通過其超快溫變能力和準確溫控技術,在芯片測試中模擬嚴苛溫度環境,顯著提升芯片良率。以下從技術原理、測試場景、良率提升機制三個維度展開:

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  一、超快溫變技術原理

  1、氣流沖擊機制

  雙區獨立控溫:設備內部設高溫區(+200℃)和低溫區(-90℃),通過氣動閥門快速切換氣流通道,實現10秒內完成-55℃→+125℃溫變。

  沖擊噴嘴設計:采用陣列式噴嘴將冷熱氣流直接噴射至芯片表面,結合PID+模糊控制算法,確保溫度均勻性。

  2、準確溫控系統

  傳感器布局:在測試腔體內集成紅外熱像儀+鉑電阻傳感器,實時監測芯片表面及環境溫差。

  動態補償:通過自適應控溫模型,根據芯片熱容量動態調整制冷功率,控溫精度±0.1℃。

  二、芯片測試核心場景覆蓋

  1、嚴苛環境模擬

  溫度沖擊測試:模擬芯片從寒(-65℃)到高溫(150℃)的瞬時切換,驗證封裝材料抗熱應力能力。

  循環老化試驗:在-40℃~125℃范圍內進行循環,篩選早期失效芯片。

  2、工藝缺陷探測

  晶圓級測試:對未切割晶圓進行分區溫控,定位局部過熱或過冷導致的良率損失。

  封裝后驗證:在250℃高溫下檢測引線鍵合可靠性,良率提升。

  三、良率提升量化機制

  1、失效模式阻斷

  熱膨脹失配:通過快速溫變測試,提前發現芯片與基板CTE(熱膨脹系數)失配問題,良率提升。

  電遷移風險:在高溫段(150℃)加速金屬導線原子擴散,良率提升。

  2、工藝優化反饋

  光刻膠穩定性:在-20℃~85℃循環中優化光刻工藝窗口,線寬均勻性改善。

  薄膜沉積優化:通過溫度沖擊測試調整CVD工藝參數,薄膜缺陷率降低。

  四、國內設備商創新方案

  冠亞恒溫TES系列熱流儀:

  升降溫速率非常迅速,可實現對光通信產品進行快速溫度沖擊;

  進行溫度循環測試時,能夠穩定的維持在某個溫度點,精度可達±0.5℃;

  可針對PCB中的某個IC元件進行溫度測試而不影響其他元器件;

  可在實驗室或者工作平臺上進行溫度測試,升降溫時間可控,可程序化操作。

高低溫沖擊氣流儀ThermoTest Series通過超快溫變能力+準確溫控技術,系統性解決芯片測試中的熱應力、電遷移等關鍵難題,助力良率提升。


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