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詳細介紹
光譜共焦傳感器控制器技術規格
| 型號 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
|---|---|
| 測量模式 | 位移/厚度 |
| 采樣頻率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
| 編碼器信號輸入 | 最多3軸-TTL信號輸入 |
| 校準表（值） | 20 |
| 光源 | 白色LED光源 |
| 數字量輸出 | 30bits分辨率 |
| 模擬量輸出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率） |
| 數字信號輸出 | USB2.0/RS232/RS422 |
| I/O同步接口 | 輸入輸出TTL同步 |
| 通道選擇 | 1/2/4 |
| 工作溫度 | 5℃-40℃ |
| 存儲溫度 | -30℃-70℃ |
| 防水等級 | IP40 |
| 尺寸 | 162*111.5*124mm |
| 控制器重量 | 1400g |
| 電源等級 | 24V DC/20V |
光譜共焦傳感器測量頭技術參數
| 配備CCS Prima控制器技術參數 | ||||
| 傳感器 | 單位 | EVEREST-K1 | EVEREST-K2 | EVEREST-K6 |
| 測量范圍 | µm | 1000 | 2000 | 6000 |
| 工作距離 | mm | 18.5 | 19.2 | 13.7 |
| 反射角度 | deg | 44° | 42° | 32° |
| 精度(線性誤差) | nm | < 100 | 150 | 350 |
| 橫向分辨率 | nm | < 50 | 75 | 200 |
| 光斑直徑 | µm | 8 | 7 | 10.4 |
| 數值孔徑(N.A) | 0.7 | 0.67 | 0.55 | |
| 最小可測厚度 | µm | < 50 | 100 | 150 |
| 外觀尺寸 | ||||
| 長 | mm | 260.5 | 243.4 | 136.3 |
| 直徑 | mm | 82 | 82 | 47 |
| 重量 | g | 1400 | 1250 | 925 |
注：以上參數如有變化，恕不另行通知。
共焦傳感器光纖線規格（可選配以下）
| 型號 | 長度 | 內徑 | 外徑 | 外殼 | 連接器類型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-10 | 10m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-3-M | 3m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-5-M | 5m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-10M | 10m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
| E50-20-M | 20m | 50/125μm | 3mm | 金屬外殼 | E2000 |
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