太陽能離子注入機功能
太陽能離子注入機用于太陽能電池片的摻雜工藝，離子注入后形成電池片發電核心-PN結。將離子注入引入太陽能工藝中，可有效提高電池片的均勻性，從而提高轉換效率至少1%。

 

太陽能電池片離子注入機的特點
離子注入與傳統熱擴散相比較，具有如下特點：
◆注入硅片的離子劑量可以精確控制。使用離子注入機摻雜，劑量可以精確到離子的個數，這樣可以形成高品質的PN結，這是傳統熱擴散*沒能力做到的；
◆注入硅片的深度可以精確控制。離子注入機可以自由調節束能的大小，這可以調節離子的動能從而達到調節注入的深度。傳統熱擴散主要靠溫度和時間來控制注入離子的深度，屬于模糊控制；
◆高的光電轉化率。離子注入機可以與傳統熱擴散相比可以提升電池1.5%-3%的光電轉化率；
◆高均勻性：離子注入機由于可以控制束流的均勻性，對于硅片方塊電阻的均勻性能夠精確控制，使方阻均勻性更好。



主要優勢：
◆大束流：可以做到120mA（P+）以上。
◆B+和P+注入：相對市場上其他家的太陽能離子注入機目前只能注入P+離子，太陽能離子注入機也可以注入大束流的B+離子，滿足不同客戶的不同需求。
◆束流利用率：研發的太陽能離子注入機束流利用率可以達到95%。
◆束流均勻性：研發的太陽能離子注入機束流均勻度可以達到98%以上。
◆高產能：目前在市場上投入使用的太陽能離子注入機離子注入機的產能為1000片/小時左右（以Varian公司的Solion為例），這會對光伏電池生產線的產能造成很大的限制，直接影響電池片廠家的利潤。研發的太陽能離子注入機設計產能將達到3000片/小時。
◆制程成本低廉：使用太陽能離子注入機，可以使離子注入機的綜合制程成本控制在約RMB 0.3元/片。