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詳細介紹
一、設備用途
真空碳化臺運用于磁控管陰極燈絲碳化工藝，是磁控管生產的關鍵設備，本設備為單腔室反應碳化爐，在真空潔凈條件下，
對磁控管陰極通電，通入活性氣氛C6H6(苯） ，利用陰極燈絲的發熱，使得苯與燈絲發生碳化反應，達到燈絲碳化的目的。
真空碳化臺運用于磁控管陰極燈絲碳化工藝，是磁控管生產的關鍵設備，本設備為單腔室反應碳化爐，在真空潔凈條件下，
對磁控管陰極通電，通入活性氣氛C6H6(苯） ，利用陰極燈絲的發熱，使得苯與燈絲發生碳化反應，達到燈絲碳化的目的。
二、主要技術參數
1、產能：一次性碳化50個陰極的燈絲（也可定制）；
2、生產節拍：小于10Min每爐；
3、工藝腔體尺寸與結構：Φ500mm *400mm （支持定制）
4、極限真空：優于6.67*10-4Pa
5、系統真空檢漏漏率：≤6.67x10-8 Pa.l/S；
6、燈絲碳化率：10%-35%
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