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詳細介紹
一、設備用途
高真空排氣臺運用于磁控管管芯排氣工藝，是磁控管生產的關鍵設備，磁控管管芯抽真空至高真空（5.0*0-4Pa）通電，
燈絲發熱后使得吸附在管芯內的氣體進一步釋放，將磁控管管芯抽至高真空（優于5.0*0-5Pa），達到管芯排氣目的。
二、主要技術參數
1、產能：一次性對50個管芯進行排氣（也可定制）；
2、生產節拍：約60min每爐；
3、極限真空：優于6.67*10-6Pa
4、系統真空檢漏漏率：≤6.67x10-10 Pa.l/S；
5、燈絲電源：輸出直流電流0~20A可調，功率5.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
6、陽極電源：輸出直流電壓0~300V可調，功率2.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
7、配置進口品牌（愛發科）低溫泵，抽速：2400L/S
高真空排氣臺運用于磁控管管芯排氣工藝，是磁控管生產的關鍵設備，磁控管管芯抽真空至高真空（5.0*0-4Pa）通電，
燈絲發熱后使得吸附在管芯內的氣體進一步釋放，將磁控管管芯抽至高真空（優于5.0*0-5Pa），達到管芯排氣目的。
二、主要技術參數
1、產能：一次性對50個管芯進行排氣（也可定制）；
2、生產節拍：約60min每爐；
3、極限真空：優于6.67*10-6Pa
4、系統真空檢漏漏率：≤6.67x10-10 Pa.l/S；
5、燈絲電源：輸出直流電流0~20A可調，功率5.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
6、陽極電源：輸出直流電壓0~300V可調，功率2.5KW，每臺電源對10只管芯供電；
7、配置進口品牌（愛發科）低溫泵，抽速：2400L/S
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